激光干涉仪是一种高精度的测量仪器,用于测量光程差。其中,Zygo激光干涉仪是一款非常优秀的仪器,具有高精度、高稳定性、高灵敏度等优点。
Zygo激光干涉仪采用激光干涉原理,通过将激光束分成两个相干的光束,然后再将它们合并在一起,形成干涉图案。通过分析干涉图案,可以计算出被测物体的形态、平面度、平行度等参数,从而实现高精度的测量。
Zygo激光干涉仪的激光源采用He-Ne气体激光器,具有波长为632.8纳米的单色光,能够提供高质量的干涉图案。同时,该仪器还配备有高精度的光学元件和精密的机械系统,可以实现微米级别的测量精度。
此外,Zygo激光干涉仪还具有高稳定性和高灵敏度的特点。它可以在不同温度和湿度条件下保持稳定的测量精度,能够精确地测量微小变化和微小振动。
总之,Zygo激光干涉仪是一款高精度、高稳定性、高灵敏度的激光干涉仪,在精密测量领域得到广泛应用。